126nm UV

পরামিতি বিভাগ

মডেল 1: ArF-193 (নির্ভুল লিথোগ্রাফির জন্য উত্সর্গীকৃত)

মডেল 2: KrF-248 (সাধারণ প্রক্রিয়াকরণ)

মডেল 3: XeCl-308 (সারফেস পরিবর্তন)

সংগ্রহ ফোকাস বিবরণ

তরঙ্গদৈর্ঘ্য (nm)

193

248

308

193nm সাব-মাইক্রোন সেমিকন্ডাক্টরের জন্য উপযুক্ত; 248nm ভারসাম্য নির্ভুলতা এবং খরচ; 308nm জৈব পদার্থের জন্য উপযুক্ত।

পালস শক্তি (mJ)

10-50

50-200

100-500

উচ্চ শক্তি দক্ষ বিমোচন নিশ্চিত করে এবং প্রক্রিয়াকরণের সময় 20% কমিয়ে দেয়।

পুনরাবৃত্তি হার (Hz)

100-1000

200-2000

50-600

2000Hz উচ্চ -গতির উত্পাদন সমর্থন করে, সরঞ্জাম নিষ্ক্রিয় খরচ হ্রাস করে৷

গড় শক্তি (W)

5-50

10-400

5-300

400W ক্লাস পাওয়ার দ্রুত ROI সহ 24/7 অপারেশনের জন্য উপযুক্ত।

পালস প্রস্থ (এনএস)

10-20

15-25

20-30

সংক্ষিপ্ত নাড়ি তাপ প্রভাব কমিয়ে এবং উপাদান অখণ্ডতা উন্নত.

রশ্মির আকার (মিমি)

12x26 (নিয়ন্ত্রণযোগ্য)

12x28

15x30

ইউনিফর্ম বিম বন্টন প্রক্রিয়াকরণের ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে এবং কোন গাঢ় ফিতে নেই।

শক্তি স্থিতিশীলতা (%)

±0.5

±1.0

±1.5

কম অস্থিরতা স্ক্র্যাপের হার হ্রাস করে এবং 5-10% উপাদান খরচ বাঁচায়।

গ্যাস জীবনকাল (নাড়ি)

>10^8 (exciPure প্রযুক্তি)

>5x10^7

>10^8

10 বার প্রসারিত, বার্ষিক গ্যাস খরচ<$5000.

কুলিং পদ্ধতি

জল-ঠান্ডা/বায়ু-ঠান্ডা ঐচ্ছিক৷

জল শীতল

জল শীতল

দক্ষ তাপ অপচয়, ক্রমাগত অপারেশন, 6 মাসের রক্ষণাবেক্ষণ চক্র সমর্থন করে।

মাত্রা/ওজন (কেজি)

650x300x500 / 150

800x400x600 / 200

700x350x550 / 180

কম্প্যাক্ট ডিজাইন, বিদ্যমান উৎপাদন লাইনে একত্রিত করা সহজ।

মূল্য পরিসীমা (USD)

50,000-150,000

80,000-250,000

60,000-200,000

প্রবেশ-স্তর $50,000 থেকে শুরু হয়, উচ্চ মূল্যের কার্যক্ষমতা।

ওয়ারেন্টি/পরিষেবা

1 বছরের + 5 বছর এক্সটেনশন, দূরবর্তী ডায়াগনস্টিকস

বাম হিসাবে একই

বাম হিসাবে একই

গ্লোবাল সার্ভিস নেটওয়ার্ক, প্রতিক্রিয়া সময়<24 hours.